1. 材料性能与工艺优势
- 超高温稳定性
- 耐温性：长期工作温度1600°C（短期耐受1800°C），热膨胀系数6.5×10⁻⁶/°C（匹配金属封装需求）
- 抗热震性：ΔT=800°C水冷循环＞50次无开裂（气孔率＜0.5%致密烧结工艺）
- 极端环境耐受性
- 耐强酸/强碱：98%硫酸、40%氢氧化钠溶液浸泡1000小时，质量损失＜0.02%
- 抗等离子侵蚀：氩离子轰击测试（功率500W），表面蚀刻速率≤0.1μm/h
- 精密加工能力
- 尺寸精度：CNC研磨公差±0.005 mm，孔径最小0.1 mm（深径比20:1）
- 复杂结构：支持多台阶、异形孔、内螺纹一体化成型（激光辅助烧结技术）
2. 性能对比（氧化铝陶瓷 vs 常见结构材料）
| 参数 | 氧化铝陶瓷（99.5%） | 316L不锈钢 | PEEK工程塑料 |
|---|---|---|---|
| 最高工作温度 | 1600°C | 800°C（氧化失效） | 250°C（热变形） |
| 导热系数 | 30 W/(m·K) | 15 W/(m·K) | 0.25 W/(m·K) |
| 体积电阻率 | ＞10¹⁴ Ω·cm（绝缘） | 7.4×10⁻⁷ Ω·cm（导电） | 10¹⁶ Ω·cm（绝缘） |
| 密度 | 3.9 g/cm³ | 8.0 g/cm³ | 1.3 g/cm³ |
