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半导体陶瓷结构件

参数类别 规格明细
材料性能 密度:5.89-6.05g/cm³
加工精度 尺寸范围:φ0.2mm~300mm
力学性能 抗弯强度≥900MPa
认证标准 ISO 13356...

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1. 材料特性与核心优势

氧化锆陶瓷结构件及配件(Yttria-Stabilized Zirconia, Y-TZP)以纳米级氧化锆粉末为基材,通过等静压成型+高温烧结工艺制成,具备以下核心性能:

  • 超高强度:抗弯强度≥900MPa,断裂韧性达9.1MPa·m¹/²,耐磨性是金属的10倍以上(引用:GB/T 41500-2022)。
  • 耐极端环境:熔点2715℃,长期耐温800°C,抗热震性△T≥280℃,适配高温窑炉、发动机等场景。
  • 生物相容性:通过ISO 13485/FDA认证,表面光洁度Ra≤0.02μm,用于人工关节、无菌分血阀等医疗领域。
  • 精密加工能力:公差±0.005mm,支持异形件、微孔(孔径≥0.2mm)及复杂曲面加工。

2. 核心应用场景与解决方案

① 半导体与电子工业

  • 晶圆吸盘(Wafer Chuck):高绝缘性(击穿强度≥18kV/mm),低热膨胀系数(6.5×10⁻⁶/℃),适配光刻机与芯片制造。
  • 5G陶瓷滤波器:介电常数26,高频信号损耗≤0.2dB,替代金属部件,提升通信效率。

② 医疗与生物工程

  • 人工关节/齿科种植体:生物相容性优异,耐磨寿命超20年,降低术后感染风险。
  • 无菌分血阀:支持CIP/SIP在线清洗灭菌,表面无残留,符合GMP标准。

③ 新能源与汽车工业

  • 锂电池注液泵:耐电解液腐蚀(PH 1-14),流量精度误差≤0.5%,提升电池一致性。
  • 燃油喷射系统:低摩擦系数(≤0.1),适配高压喷油嘴,减少油耗与碳排放。

④ 高温工业设备

  • 涡轮叶片/窑炉探温器:耐高温氧化(1400℃短时耐受),抗热冲击性强。
  • 耐磨导轨/阀门:硬度HRA88,适配喷砂设备、化工泵等高磨损场景。
参数类别 规格明细
材料性能 密度:5.89-6.05g/cm³
加工精度 尺寸范围:φ0.2mm~300mm
力学性能 抗弯强度≥900MPa
认证标准 ISO 13356
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