典型应用场景
1. 新能源电池制造
- 电解液精密填充：
- 耐DMC/EC等酯类溶剂腐蚀（陶瓷零溶胀）
- 流量波动≤±0.5%（保障电芯一致性）
- 纳米硅碳浆料涂布：
- 槽阀剪切力≤1 Pa·s（保护纳米材料结构）
2. 食品与制药
- 高粘度胶原蛋白灌装：
- CIP/SIP原位清洗灭菌（耐受132℃高压蒸汽）
- 无机械阀设计，避免生物膜滋生
- 果酱/巧克力定量泵送：
- 流道自清洁设计（残留量≤0.1 μL）
3. 半导体与光学
- 光刻胶循环供给：
- 抗静电陶瓷（表面电阻≤10⁶ Ω）防止颗粒吸附
- 脉动率≤0.3%（保障晶圆涂层均匀性）
