关键密封参数：
| 指标 | API682标准 | 本产品性能 |
|---|---|---|
| 平面度 | ＜0.3μm | ＜0.1μm |
| 表面粗糙度Ra | ＜0.2μm | 0.05μm |
| 泄漏率(MPa·m³/s) | ＜10⁻⁶ | ＜10⁻⁷ |
| 端面跳动 | ＜5μm | ＜2μm |
超精密加工工艺：
- 金刚石研磨：
- 粗磨：#2000金刚石砂轮（平面度5μm）
- 精磨：#8000树脂盘（平面度0.5μm）
- 化学机械抛光：
- SiO₂胶体抛光液（pH=10.5）
- 转速20rpm，压力0.1MPa
- 在线监测：
- 激光干涉仪实时校准（精度λ/20）
