放气率关键数据（ASTM E595标准）：
| 条件 | 放气率(TML%) | 冷凝挥发物(CVCM%) | 达标要求 |
|---|---|---|---|
| 普通96%氧化铝 | 0.85% | 0.15% | ❌ 不达标 |
| 真空级99.5%氧化铝 | 0.02% | 0.002% | ✔️ 符合NASA标准 |
真空污染控制方案：
- 材料预处理：
- 1200°C高温焙烧（去除有机杂质）
- 离子清洗表面（减少吸附气体）
- 表面镀膜防护：
- 磁控溅射镀铝膜（阻隔气体渗透）
- 放气率再降90%
- 结构设计优化：
- 避免多孔结构（密度需＞3.92g/cm³）
- 锐角倒圆角（减少气体滞留）
应用等级：
- 高真空（10⁻³~10⁻⁷ Pa）：标准99%氧化铝+清洗
- 超高真空（＜10⁻⁷ Pa）：必须用真空级99.5%氧化铝
