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氧化铝陶瓷片表面粗糙度能达到多少?如何降低摩擦系数?

作者: 浏览量: 来源: 时间:2025-05-30

信息摘要:

加工精度极限:​​ 工艺 可达粗糙度Ra(μm) 成本系数 适用场景 研磨 0.2-0.4 1x 机械密封面 精密抛光 0.05-0.1 3x 光学平台

加工精度极限:​

工艺 可达粗糙度Ra(μm) 成本系数 适用场景
研磨 0.2-0.4 1x 机械密封面
精密抛光 0.05-0.1 3x 光学平台
激光镜面加工 0.01-0.03 8x 半导体晶圆载具

减摩技术方案:​

  • 表面织构化:​
    • 激光雕刻微凹坑(直径50μm,深10μm)
    • 摩擦系数从0.8→0.25(油脂润滑下)
  • 涂层处理:​
    • 溅射MoS₂涂层:干摩擦系数0.05-0.1(厚度2μm)
    • 沉积DLC金刚石膜:硬度HV4000,耐磨性提升10倍
  • 复合改性:​
    • 添加10%石墨烯:自润滑性提升,摩擦系数降至0.15

选型建议:​

  • 轴承应用:Ra≤0.1μm + MoS₂涂层
  • 医疗植入物:镜面抛光(Ra≤0.05μm)
  • 提供免费表面检测报告​(白光干涉仪测量)
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