1. 产品特性与核心优势
氧化铝陶瓷吸盘（Al₂O₃ Ceramic Vacuum Chuck）由**高纯度氧化铝（99.5%）**经等静压成型与高温烧结制成，具备以下核心性能：
- 超高硬度与耐磨性：硬度达HRA80，抗弯强度≥300MPa，使用寿命是金属吸盘的5倍以上。
- 耐高温与绝缘性：长期耐温1600℃，击穿强度≥15kV/mm，适配半导体光刻机与高温镀膜设备。
- 精密吸附稳定性：平面度≤0.02mm，微孔加工孔径≥0.1mm（误差±0.005mm），确保晶圆零损伤抓取。
- 抗化学腐蚀：耐酸碱（PH 1-14）、抗有机溶剂，适配光伏硅片湿法清洗工艺。
2. 核心应用场景
① 半导体制造
- 晶圆光刻吸盘：表面粗糙度Ra≤0.4μm，适配12英寸晶圆高精度定位，真空吸附力均匀性＞98%。
- 芯片探针台吸盘：耐高频静电干扰，绝缘电阻≥10¹²Ω，保障测试稳定性。
② 光伏新能源
- 硅片传输吸盘：耐高温（镀膜工序800℃），抗热震性△T≥200℃，碎片率＜0.01%。
- 电池片分选夹具：轻量化设计（密度3.8g/cm³），降低设备能耗。
③ 精密电子工业
- PCB板固定吸盘：防静电设计（表面电阻10⁶-10⁹Ω），避免电路板损伤。
- 光学镜头抛光台：耐磨损，长期使用平面度变化＜0.005mm。
重庆及锋科技服务优势
- 定制化设计：支持非标尺寸（最大φ500mm）、异形孔位及多层复合结构吸盘。
- 快速交付：自有精密加工中心（CNC/线切割/平面磨床），常规型号7天出货。
- 技术支持：提供真空吸附力仿真、热应力测试及现场安装指导。
- 成本优化：国产替代进口（如美国Applied Materials、日本TOTO），价格降低30%-50%。
