腐蚀速率实测（80℃, 24h）
| 介质 | 浓度 | 氧化铝腐蚀率(mm/年) | 解决方案 |
|---|---|---|---|
| 硫酸 | 50% | 0.008 | 直接使用 |
| 盐酸 | 30% | 0.015 | 直接使用 |
| 氢氟酸 | 5% | **＞10** | 复合陶瓷 |
| 混酸(H₂SO₄+HF) | 10%+2% | 3.2 | 表面改性 |
HF酸防护技术：
- 复合结构：
- 基体：99.5%氧化铝（主体结构）
- 涂层：CVD沉积SiC（厚50μm，耐HF腐蚀率＜0.01mm/年）
- 密封增强：
- 采用氟橡胶O型圈（耐HF等级）
- 界面激光焊接封边（杜绝渗透）
