等离子体腐蚀速率对比：
| 材料 | Cl₂等离子体(nm/min) | CF₄/O₂等离子体(nm/min) |
|---|---|---|
| 96% Al₂O₃ | 25 | 18 |
| 99.5% Al₂O₃ | 8 | 6 |
| 石英（对比） | 45 | 120 |
表面强化技术：
- 晶界钝化：
- 真空渗硅处理（晶界生成莫来石相）
- 腐蚀速率↓40%
- 功能涂层：
- 磁控溅射AlCrN涂层（厚5μm）
- 耐Cl₂腐蚀性提升10倍
- 结构防护：
- 设计等电位屏蔽环（减少离子轰击）
光伏设备替换周期：
| 部件 | 标准氧化铝寿命 | 强化方案寿命 |
|---|---|---|
| 气体喷淋头 | 6个月 | 3年 |
| 腔室内衬 | 1年 | 5年 |
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