防击穿核心技术：
电极结构：
- 类型： 分形梳状电极（比传统网格击穿电压↑30%）
- 厚度： 10-15μm钼层（熔点2620℃）
- 埋深： 距表面0.3mm（96% Al₂O₃耐压＞20kV/mm）
梯度介质层设计（专利方案）：
| 层序 | 材料 | 厚度(μm) | 功能 |
|---|---|---|---|
| 1 | 99.5% Al₂O₃ | 50 | 表面绝缘（Ra＜0.05μm） |
| 2 | Al₂O₃+20% Si₃N₄ | 100 | 热膨胀过渡层 |
| 3 | 电极层 | 15 | 钼/钨金属化 |
| 4 | 99% Al₂O₃ | 300 | 基体支撑 |
关键参数验证：
- 耐压测试：DC 25kV（1min无闪络）
- 热循环（-60℃↔200℃）：＞5000次无分层
- 吸力均匀性：±3%（@8kV，300mm晶圆）
